
廈門太星機電有限公司
經營模式:商業服務
地址:廈門市集美區東安前占里19號之二
主營:真空泵,螺桿真空泵,水環真空泵,真空泵機組
業務熱線:0592-6800154
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廈門真空泵維修,廈門真空泵,廈門螺桿真空泵
廈門太星機電有限公司生產真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設計、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質輸送、控制系統集成,以及實驗室搭建和無塵潔凈室建設工程總包服務商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機及干冰清洗、3D打印服務。
高純供氣系統功能:
可實現自動切換,自動氮氣吹掃,自動真空輔助放空;多重安全防護措施,泄漏偵測,遠程緊急切斷;氮氣吹掃起源等等。
高純供氣系統設計
1.材料的選擇
特氣管路系統普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道,閥門一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等,采用經過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 。
廈門太星機電有限公司生產真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設計、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質輸送、控制系統集成,以及實驗室搭建和無塵潔凈室建設工程總包服務商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機及干冰清洗、3D打印服務。
2.主管路系統的設計
在確定好氣體房和用氣點以后,主管路系統一般遵循管道線路短,拐彎少,布置緊湊合理,給人簡單美觀的感覺。輸送系統的數量和管徑的大小一般根據機臺用氣點的多少和流量大小確定,基本都采用小管徑輸送(1/4-3/4)而且多設計了備用系統。由于氣體本身的危險性,許多地方采用把管道鋪設在電纜橋架里,對于穿墻或穿過夾道的地方,周圍有危險源和經常有危險作業的地方,露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。
廈門太星機電有限公司生產真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設計、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質輸送、控制系統集成,以及實驗室搭建和無塵潔凈室建設工程總包服務商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機及干冰清洗、3D打印服務。
對于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了控制流量,在氣源端一般會考慮配置高的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質量流量計,壓力調節閥。對于高反應性和自燃氣體,應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區設計,即整個管道系統從氣柜到VMB、從VMB到用氣點,要點對點,中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此,整個管路系統中由VMB完成氣體的分配,中間沒有三通。管道還要有良好的接地。